Konstrukce zasouvací stanice k difuzní peci a analýza proudění v pracovní oblasti
Diffusion Furnace Load Station Design and Workspace Flow Analysis
Typ dokumentu
diplomová prácemaster thesis
Autor
Tilšer Michal
Vedoucí práce
Čenský Tomáš
Oponent práce
Kolátek Tomáš
Studijní obor
Letadlová a kosmická technikaStudijní program
Letectví a kosmonautikaInstituce přidělující hodnost
ústav letadlové technikyPráva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Tématem této diplomové práce je konstrukce zasouvací stanice a zejména tedy samotného zasouvadla, či zakladače, který automaticky zasouvá křemíkové destičky do topných kazet difuzní pece a analýza bočného proudění vzduchu, které proudí po čas zasouvání a vysouvání kolem desek. Theme of this diploma thesis is a construction of Load station and especially part of Load station called Loader which automatically insert the silicon wafers into diffusion furnace processe tube and also the analysis of the lateral air flow which flows during loading and ejecting around the wafers.
Kolekce
- Diplomové práce - 12122 [156]