Konstrukce zasouvací stanice k difuzní peci a analýza proudění v pracovní oblasti
Diffusion Furnace Load Station Design and Workspace Flow Analysis
| dc.contributor.advisor | Čenský Tomáš | |
| dc.contributor.author | Tilšer Michal | |
| dc.date.accessioned | 2018-01-25T21:38:35Z | |
| dc.date.available | 2018-01-25T21:38:35Z | |
| dc.date.issued | 2018-01-05 | |
| dc.identifier | KOS-695600118705 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10467/74038 | |
| dc.description.abstract | Tématem této diplomové práce je konstrukce zasouvací stanice a zejména tedy samotného zasouvadla, či zakladače, který automaticky zasouvá křemíkové destičky do topných kazet difuzní pece a analýza bočného proudění vzduchu, které proudí po čas zasouvání a vysouvání kolem desek. | cze |
| dc.description.abstract | Theme of this diploma thesis is a construction of Load station and especially part of Load station called Loader which automatically insert the silicon wafers into diffusion furnace processe tube and also the analysis of the lateral air flow which flows during loading and ejecting around the wafers. | eng |
| dc.language.iso | CZE | |
| dc.publisher | České vysoké učení technické v Praze. Vypočetní a informační centrum. | cze |
| dc.publisher | Czech Technical University in Prague. Computing and Information Centre. | eng |
| dc.rights | A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html | eng |
| dc.rights | Vysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html | cze |
| dc.subject | Difuzní pec,Difúze,Load station,Zasouvací stanice,Loader,Zakladač,P-N přechod,Čisté prostory,Výkonové polovodičové součástky,Polovodič | cze |
| dc.subject | Difusion furnace,Difusion,Load station,Loader,P-N junction,Clean room,Power semiconductors,Semiconductor | eng |
| dc.title | Konstrukce zasouvací stanice k difuzní peci a analýza proudění v pracovní oblasti | cze |
| dc.title | Diffusion Furnace Load Station Design and Workspace Flow Analysis | eng |
| dc.type | diplomová práce | cze |
| dc.type | master thesis | eng |
| dc.date.accepted | ||
| dc.contributor.referee | Kolátek Tomáš | |
| theses.degree.discipline | Letadlová a kosmická technika | cze |
| theses.degree.grantor | ústav letadlové techniky | cze |
| theses.degree.programme | Letectví a kosmonautika | cze |
Soubory tohoto záznamu
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
-
Diplomové práce - 12122 [139]