Měření složení zbytkové atmosféry vakuových zařízení

Abstract

V práci se zabývám základní teorií a provedeními hmotnostních analyzátorů. Větší důraz kladu na kvadrupólový hmotnostní analyzátor, jelikož je ze všech nejrozšířenější. Dále se zabývám teorií při výpočtu parciálních plynů ze spektra. Poté prezentuji svůj program, který slouží jako komunikační nástroj mezi počítačem a hmotnostním analyzátorem, kde je možné naměřené spektrum zobrazit a spočítat parciální tlaky. Nakonec analyzuji vypočtené parciální tlaky z naměřeného spektra.

In my work I deal with the basic theory and design of mass analyzers. Greater emphasis is placed on the quadrupole mass analyzer, which is the most common of all in this field. I also deal with theory in the calculation of partial gases from the spectrum. Then I presen my program, which serves as a communication tool between the computer and the mass analyzer, where it is possible to display the measured spectrum and calculate the partial pressures. Finnaly, I analyze the evaluated partial pressures from the measured spectrum.