Měření složení zbytkové atmosféry vakuových zařízení

Ondřej Zajan

Measurement of residual gas composition in vacuum aparatus

Type of document

bakalářská práce
bachelor thesis

Author

Ondřej Zajan

Supervisor

Bartoň Petr

Opponent

Jeřáb Martin

Field of study

Fyzikální technika

Study program

Aplikace přírodních věd

Institutions assigning rank

katedra fyziky

Rights

A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Vysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html

Metadata

Show full item record

Abstract

V práci se zabývám základní teorií a provedeními hmotnostních analyzátorů. Větší důraz kladu na kvadrupólový hmotnostní analyzátor, jelikož je ze všech nejrozšířenější. Dále se zabývám teorií při výpočtu parciálních plynů ze spektra. Poté prezentuji svůj program, který slouží jako komunikační nástroj mezi počítačem a hmotnostním analyzátorem, kde je možné naměřené spektrum zobrazit a spočítat parciální tlaky. Nakonec analyzuji vypočtené parciální tlaky z naměřeného spektra.

In my work I deal with the basic theory and design of mass analyzers. Greater emphasis is placed on the quadrupole mass analyzer, which is the most common of all in this field. I also deal with theory in the calculation of partial gases from the spectrum. Then I presen my program, which serves as a communication tool between the computer and the mass analyzer, where it is possible to display the measured spectrum and calculate the partial pressures. Finnaly, I analyze the evaluated partial pressures from the measured spectrum.