Tenkovrstvé kovové oxidy vytvářené pomocí pulsní laserové depozice
Pulsed Laser Deposition of Metal Oxide Thin Films
Typ dokumentu
diplomová prácemaster thesis
Autor
Michal Ott
Vedoucí práce
Horynová Eva
Oponent práce
Remeš Zdeněk
Studijní obor
Technologické systémyStudijní program
Elektrotechnika, energetika a managementInstituce přidělující hodnost
katedra elektrotechnologiePráva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Tato diplomová práce se věnuje tematice pulsní laserové depozice a vytváření tenkých vrstev kovových oxidů pomocí zmíněné metody. V první části jsou popsány základní fyzikální principy, na nichž je PLD založena, a její význačná specifika. Dále jsou uvedeny základní vlastnosti oxidů přechodových kovů a některé možnosti jejich uplatnění, zejména v oblasti solárních článků. Následuje druhá část, v níž je popsána experimentální příprava vzorků vrstev oxidu molybdenového a zkoumání laserových stop, sledované vlastnosti a použité měřicí metody. Na závěr jsou vyhodnoceny dosažené výsledky; připravené vrstvy jsou posouzeny z hlediska jejich tloušťky, velikosti zrn a optických vlastností, jimiž jsou transmise, koeficient absorpce, index lomu a koeficient útlumu. Na základě velikosti laserových stop je rovněž posouzena hustota energie laserových pulsů. This masters’s thesis focuses on the subject of the pulsed laser deposition and creating metal oxide thin films using said method. In the first part, the basic physical principles on which PLD is based are described, as well as it’s main specifics. Further on, the basic properties of transition metal oxides are stated, also some of the possibilities of their application, especially in the field of solar cells. Following is the second part, which describes the experimental preparation of molybdenum trioxide film samples, examination of laser spots, observed properties, and used measurement methods. In conclusion, the achieved results are evaluated; the films prepared are assessed according to their thickness, grain size, and optical properties, specifically their transmission, absorption coefficient, refractive index, and extinction coefficient. Based on the size of the laser spots, the laser pulse fluence is assessed as well.