Tenkovrstvé kovové oxidy vytvářené pomocí pulsní laserové depozice

Abstract

Tato diplomová práce se věnuje tematice pulsní laserové depozice a vytváření tenkých vrstev kovových oxidů pomocí zmíněné metody. V první části jsou popsány základní fyzikální principy, na nichž je PLD založena, a její význačná specifika. Dále jsou uvedeny základní vlastnosti oxidů přechodových kovů a některé možnosti jejich uplatnění, zejména v oblasti solárních článků. Následuje druhá část, v níž je popsána experimentální příprava vzorků vrstev oxidu molybdenového a zkoumání laserových stop, sledované vlastnosti a použité měřicí metody. Na závěr jsou vyhodnoceny dosažené výsledky; připravené vrstvy jsou posouzeny z hlediska jejich tloušťky, velikosti zrn a optických vlastností, jimiž jsou transmise, koeficient absorpce, index lomu a koeficient útlumu. Na základě velikosti laserových stop je rovněž posouzena hustota energie laserových pulsů.

This masters’s thesis focuses on the subject of the pulsed laser deposition and creating metal oxide thin films using said method. In the first part, the basic physical principles on which PLD is based are described, as well as it’s main specifics. Further on, the basic properties of transition metal oxides are stated, also some of the possibilities of their application, especially in the field of solar cells. Following is the second part, which describes the experimental preparation of molybdenum trioxide film samples, examination of laser spots, observed properties, and used measurement methods. In conclusion, the achieved results are evaluated; the films prepared are assessed according to their thickness, grain size, and optical properties, specifically their transmission, absorption coefficient, refractive index, and extinction coefficient. Based on the size of the laser spots, the laser pulse fluence is assessed as well.