Tenkovrstvé technologie

Abstract

Bakalářská práce pojednává o tenkovrstvých technologiích. Nejprve se věnuje teoretickému základu vytváření tenkých vrstev a vlivům, které na tento výroby působí. Další kapitoly popisují jednotlivé technologie výroby, zejména naprašování a napařování, a důležité mechanické a elektrické vlastnosti tenkých vrstev. V praktické části je vyhodnoceno měření na vytvořených vzorcích. Poslední kapitola pojednává o ekonomických nákladech technologií použitých k výrobě.

The bachelor's thesis deals with technologies for thin film layers. First of all the thesis focuses on the theoretical basics of creating thin film layer and influences on the process. Next chapters describe particular technologies, especially sputtering and evaporation, and important mechanic and electric characteristics of thin film layers. In the practical part the measurement of the samples made for the thesis is evaluated. The last chapter describes the economic costs of technologies used for making the samples.