Tenkovrstvé technologie

Petr Vaněk

Technologies for Thin Film Layer

Type of document

bakalářská práce
bachelor thesis

Author

Petr Vaněk

Supervisor

Beshajová Pelikánová Ivana

Opponent

Mikeš Jan

Field of study

Elektrotechnika a management

Study program

Elektrotechnika, energetika a management

Institutions assigning rank

katedra ekonomiky, manažerství a humanitních věd

Rights

A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Vysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html

Metadata

Show full item record

Abstract

Bakalářská práce pojednává o tenkovrstvých technologiích. Nejprve se věnuje teoretickému základu vytváření tenkých vrstev a vlivům, které na tento výroby působí. Další kapitoly popisují jednotlivé technologie výroby, zejména naprašování a napařování, a důležité mechanické a elektrické vlastnosti tenkých vrstev. V praktické části je vyhodnoceno měření na vytvořených vzorcích. Poslední kapitola pojednává o ekonomických nákladech technologií použitých k výrobě.

The bachelor's thesis deals with technologies for thin film layers. First of all the thesis focuses on the theoretical basics of creating thin film layer and influences on the process. Next chapters describe particular technologies, especially sputtering and evaporation, and important mechanic and electric characteristics of thin film layers. In the practical part the measurement of the samples made for the thesis is evaluated. The last chapter describes the economic costs of technologies used for making the samples.