Studium interakce nízkoteplotního plazmatu s tenkou vrstvou cínu

Abstract

Tato práce se věnuje interakci nízkoteplotního plazmatu s tenkou vrstvou cínu. První část se zabývá základním teoretickým popisem generovaného plazmatu, přípravou tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování, technologiemi analýzy povrchu a přehledem procesů při kontaktu plazmatu s pevnou látkou. Ve druhé části je popis experimentu, kde je popsána příprava tenkých vrstev a samotné zapojení obvodů při experimentu. V poslední části jsou diskutovány výsledky interakce za pomoci SEM snímků, EDS spekter a výsledků z Langmuirovy sondy. Dále je zde diskutován rozdíl vlivu samotné interakce s plazmatem a vypařování a další parametry ovlivňující interakci jako je průtok pracovního plynu a doba trvání interakce.

The thesis focuses on the interaction of low-temperature plasma with thin film of tin. The first part is concerned with the basics of used plasma discharge, preparation of thin film using magnetron sputtering, surface analysis technologies and short overview of plasma-solid interaction. The second part is description of the experiment itself, mainly preparation of the thin tin films and used circuitry. In the last part, the interaction results are discussed using SEM images, EDS spectra and the results from Langmuir probe. Furthermore, the difference between the effects of plasma-solid interaction and evaporation is discussed, as well as other parameters affecting the interaction such as the flow of gas and interaction time.