Depozice wolframových vrstev na ocelové substráty pomocí technologie RF-ICP

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá technologií radiofrekvenčního indukčně vázaného plazmatu, a využitím této technologie pro nástřiky wolframu na ocelové substráty. Hlavním cílem této práce je porovnání závislosti vlastností wolframového nástřiku (tloušťka, porozita, roztavení jednotlivých částic) na rychlosti přejezdu hořáku. Vyhodnocení těchto vlastností bylo provedeno v rámci analýzy mikrostruktury nástřiku na elektronovém mikroskopu. Pro potvrzení čistoty naneseného wolframu byla provedena EDX analýza. Tato práce vznikla ve spolupráci s Oddělením materiálového inženýrství Ústavu fyziky plazmatu Akademie věd České republiky v. v. i.

This bachelor thesis is focused on the technology of inductively coupled plasma and usage of this technology for deposition of tungsten coatings on steel substrates. The main goal of the thesis is to find out how the speed of movement of the torch influences qualities of the tungsten coating (thickness, porosity, melting of individual particles). These attributes were evaluated from the microstructure, using the scanning electron microscope. The EDX analysis was performed to confirm purity of the deposited tungsten. This thesis was written in cooperation with the Department of Materials Engineering, Institute of Plasma Physics of the Czech Academy of Sciences.