Hodnocení smáčivosti povlaků na bázi Cr nanesených metodou PVD

Abstract

Diplomová práce se zabývá vyhodnocením smáčivosti, povrchové morfologie, drsnosti a tloušťky povlaků Cr a povlaků Cr s následným povlakem DLC. Práce je rozdělena do dvou částí. V teoretické části jsou popsány metody fyzikální depozice PVD, parametry drsnosti, smáčivost a vlastnosti povlaků na bázi Cr a DLC. Praktická část práce je zaměřena na vyhodnocení povlaků Cr vytvořených metodou nevyváženého magnetronového naprašování při různých hodnotách biasu a povlaků DLC nanesených na povlak Cr metodou PACVD. V práci je zkoumán vliv biasu na strukturu a drsnost vytvořených povlaků, která ovlivňuje smáčivost.

The diploma thesis deals with the evaluation of the wetting, surface morphology, hardness and thickness of Cr coatings and Cr coatings followed by DLC coating. The thesis is divided into two parts. The teoretical part describes PVD methods, roughness parameters, wettability and properties of Cr and DLC coatings. The experimental part of the thesis is focused on the analysis of Cr coatings prepared by unbalanced magnetron sputtering at different bias voltage values and DLC coatings prepared by PACVD. In the thesis, the effect of bias on the structure and hardness of the deposited coating, which influences wettability, is investigated.