Vliv parametrů depozice na drsnost povlaků nanesených metodou PVD

Abstract

Bakalářská práce se věnuje vlivu vybraných depozičních parametrů metody PVD na drsnost a morfologii CrAl povlaku. Pro experiment byla použita metoda nevyváženého magnetronového naprašování, při kterém se zvyšovala hodnota záporného předpětí, tzv. biasu. Práce je rozdělena na teoretickou a experimentální část. V teoretické části jsou uvedeny a přiblíženy metody fyzikální depozice PVD a popsány některé základní vlastnosti povlaků a způsoby jejich měření. Druhá část této práce je zaměřena na experiment, ve kterém je hodnocen vliv záporného předpětí depozice na drsnost, morfologii a tloušťku deponovaného povlaku. Z výsledků je patrný vliv tohoto parametru na drsnost, se kterou bias vykazuje nelineární závislost. Dále byl prokázán značný vliv záporného předpětí na vzniklé krystaly povlaku a jeho tloušťku, která se s rostoucí hodnotou biasu snižuje.

The bachelor thesis deals with the effect of selected deposition parameters of PVD method on roughness and morphology of CrAl coating. In the experiment, coatings were prepared using an unbalanced magnetron sputtering method with different values of bias voltage. The thesis is divided into theoretical part and experimental part. The theoretical part describes different methods of physical vapor deposition and basic properties of coatings and methods of their measurement. Second part of this work is focused on an experiment in which the effect of different bias voltage of the deposition on roughness, morphology and thickness of the deposited coating is evaluated. The results show the effect of this parameter on the roughness, with which the bias has non-linear dependence, and also significant influence of bias on the crystals of the coating and its thickness, which decreases with the increasing bias.