Využití mechanického profilometru pro měření parametrů biokompatibilních vrstev

Abstract

Táto práca sa zaoberá meraním geometrických veličín tenkých vrstiev pomocou vysoko-citlivého mechanického profilometra Alpha-Step IQ. Tieto veličiny sú posudzované a vyhodnocované s ohľadom na technické normy a parametre podľa súboru medzinárodných technických noriem GPS (Geometrical Product Specifications). V práci sú popísané princípy a možnosti mechanického profilometra Alpha-Step. Sú popísané i ďalšie princípy a metódy používané pre meranie hrúbky a drsnosti povrchov. Je navrhnutá vhodná metodika hodnotenia drsnosti povrchu pomocou dotykovej metódy a realizovaná na niektorých biokompatibilných vrstvách. Výsledky meraní sú porovnané a zhodnotené.

This work is about measurement some geometrical parameters thin films by high-sensitivity surface profiler Alpha-Step IQ. These parameters are under review in light of internationals technical standards GPS (Geometrical Product Specifications). In the work are described principles and resources surface profiler Alpha-Step. Described are another principles and methods using for measurement thickness and buckling surface. It is proposed advisable metodics ranking by contact methode for buckling surface and it is realized on the some biocompatible layers. Results measurement are comparison and reviewed