Modelování sond a korekčních metod pro mikrovlnná měření na probe station

Abstract

Práce se zaměřuje na modelování a simulaci koplanárních vlnovodných sond a metody de-embeddingu používaných pro měření planárních struktur vyrobených na korundu. 3D modely sond mohou být užitečné pro simulace při návrhu planárních struktur nebo charakterizaci vysokofrekvenčních zařízení. De-embedding je matematický proces získání S-parametrů zařízení z měřené struktury ovlivněné parazitními impedancemi kontaktních plošek a spojovacích vedení. Cílem je implementovat tyto metody a otestovat jejich funkčnost v EM simulaci na planárním kondenzátoru a induktoru vyrobených tenkovrstvou technologií na korundu v kombinaci s modelem koplanární vlnovodné sondy.

The thesis focuses on modeling and simulation of coplanar waveguide probes and de-embedding methods used for measurements of planar structures fabricated on alumina. 3D models of probes can be useful for simulations during the design process of planar structures or characterisation of high frequency devices. The de-embedding is a mathematical process of extracting S-parameters of a device from measured structure influenced by parasitic impedances of contact pads and connecting lines. The goal is to implement these methods and test their performance in EM simulation on planar capacitor and inductor fabricated by thin-film technology on alumina substrate in combination with the model of the coplanar waveguide probe.