Charakterizace povrchů diamantových struktur
Surface Characterization of Diamond Structures
Typ dokumentu
bakalářská prácebachelor thesis
Autor
Rudolf Stanko
Vedoucí práce
Voves Jan
Oponent práce
Holovský Jakub
Studijní program
Otevřené elektronické systémyInstituce přidělující hodnost
katedra radioelektronikyObhájeno
2023-02-08Práva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Táto práca uvedie čitateľa do základov o syntetických diamantoch. Stručne vysvetlí rôzne typy výroby a typy diamantov v závislostí od ich vlastností. Neskôr sa pozrie na vlastnosti uzko späté s použitím v elektrotechnickom priemysle pri výrobe polovodičkových súčiastok. Na konci teoretickej časti sa dozvie niečo o dvoch metódach určovania charaktesitík vzorkov pomocou mikroskopie atomárnych síl a Ramanovej spektroskopie. V experimentálnej časti sú uvedené štyri vzorky s rôznymi orientáciami povrchov v poradí (100), (111), (113) a (115). Na každej vzorke je prevedený scan povrchu pomocou AFM a určené Ramanovo spektrum. Tieto vlastnosti sú potom porovnané s výsledkami z rôznych iných štúdií. This thesis will introduce the reader to the basics of synthetic diamonds. Different types of preparation will be briefly explained, and readers will be introduced to the basic types of diamonds based on their properties. Later, we will look at some properties closely related to use in the electrical industry for semiconductor devices. At the end of the theoretical part, two methods for sample characterisation are described, Atomic force microscopy and Raman spectroscopy. In the experimental part, a closer look at four samples is made. Each sample has a different surface orientation on the homo-epitaxial boron-doped diamond in order: (100), (111), (113) and (115). On each, AFM scans will be done, and Raman spectra will be taken, followed by a discussion of results and comparing them to knowledge about these surfaces from different studies.
Kolekce
- Bakalářské práce - 13137 [297]