Charakterizace povrchů diamantových struktur

Abstract

Táto práca uvedie čitateľa do základov o syntetických diamantoch. Stručne vysvetlí rôzne typy výroby a typy diamantov v závislostí od ich vlastností. Neskôr sa pozrie na vlastnosti uzko späté s použitím v elektrotechnickom priemysle pri výrobe polovodičkových súčiastok. Na konci teoretickej časti sa dozvie niečo o dvoch metódach určovania charaktesitík vzorkov pomocou mikroskopie atomárnych síl a Ramanovej spektroskopie. V experimentálnej časti sú uvedené štyri vzorky s rôznymi orientáciami povrchov v poradí (100), (111), (113) a (115). Na každej vzorke je prevedený scan povrchu pomocou AFM a určené Ramanovo spektrum. Tieto vlastnosti sú potom porovnané s výsledkami z rôznych iných štúdií.

This thesis will introduce the reader to the basics of synthetic diamonds. Different types of preparation will be briefly explained, and readers will be introduced to the basic types of diamonds based on their properties. Later, we will look at some properties closely related to use in the electrical industry for semiconductor devices. At the end of the theoretical part, two methods for sample characterisation are described, Atomic force microscopy and Raman spectroscopy. In the experimental part, a closer look at four samples is made. Each sample has a different surface orientation on the homo-epitaxial boron-doped diamond in order: (100), (111), (113) and (115). On each, AFM scans will be done, and Raman spectra will be taken, followed by a discussion of results and comparing them to knowledge about these surfaces from different studies.