Příprava a rentgenová difrakční analýza supravodivých tenkých vrstev nanesených metodou IJD

Abstract

Bakalárska práca sa zaoberá nanášaním supravodivých tenkých vrstiev pomocou IJD metódy, kde bola použitá röntgenová difrakčná analýza na určenie fázového zloženia a meranie reflektivity pre zisťenie hrúbky vrstvy. Materiál použitý na nanášanie bol vysokoteplotný supravodič YBa2Cu3O7−𝑥. Pri nanášaní bol kladený dôraz na dodržiavanie podobných parametrov nanášania s výnimkou zmeny teploty substrátu, pretože bolo v pláne zistiť zmenu fázového zloženia v závislosti na tomto parametre. Fázová analýza sa prvotne použila na skúmanie vplyvu lisovania subtrátov a ich následné použitie pri nanášaní, pre dalšie zlepšenie podmienok pri analýze. Následne bola použitá na určenie fázového zloženia daných vrstiev, kde sa používala primárne metóda tečného zväzku pre dosiahnutie lepšieho fázového zloženia. Taktiež bola meraná reflektivita tenkých vrstiev kvôli zisťovaniu ich hrúbky, spolu sprevádzaná s teoretickým výpočtom za pomoci fázových diagramov.

Abstract: The bachelor’s thesis deals with the application of superconducting thin films using the IJD method, where X-ray diffraction analysis was subsequently used to determine the phase composition and thickness of the film using reflectivity. The material used for the deposition was a high-temperature superconductor YBa2Cu3O7−𝑥. The goal was to reach similar deposition parameters except for substrate temperatures because of plan to detect a change in phase composition using different substrate temperatures. Phase analysis was initially used to improve analysis conditions, mainly investigate the effect of substrate compression and their subsequent use in application. Subsequently, it was used to determine the phase composition of the films, where Grazing incidence diffraction was used to achieve a better phase composition. Thin film reflectivities were also used to determine the thickness of the thin films along with a theoretical calculation using phase diagrams.