Prohlížení Bakalářské práce - 13137 dle autora "Karolína Veselá"
-
Depozice atomárních vrstev
Autor: Karolína Veselá; Vedoucí práce: Voves Jan; Oponent práce: Kalvoda Ladislav
(České vysoké učení technické v Praze. Vypočetní a informační centrum.Czech Technical University in Prague. Computing and Information Centre., 2021-06-09)Rozvoj mikroeletrotechnického průmyslu vede ke zmenšování rozměrů polovodičových součástek, a proto vyvstává poptávka po materiálech z tenkých vrstev. Využití metody depozice atomárních vrstev přineslo vlnu zájmu díky jejím ...