ČVUT DSpace
  • Prohledat DSpace
  • English
  • Přihlásit se
  • English
  • English
Zobrazit záznam 
  •   ČVUT DSpace
  • České vysoké učení technické v Praze
  • Publikační činnost ČVUT
  • Zobrazit záznam
  • České vysoké učení technické v Praze
  • Publikační činnost ČVUT
  • Zobrazit záznam
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Low-resistance ohmic contacts on boron-doped {113} oriented homoepitaxial diamond layers

Typ dokumentu
článek v časopise
journal article
Peer-reviewed
publishedVersion
Autor
Hazdra P.
Laposa A.
Šobáň Z.
Voves J.
Lambert N.
Davydova M.
Povolný V.
Taylor A.
Mortet V.



Práva
closedAccess
Metadata
Zobrazit celý záznam
Abstrakt
Refractory metals (titanium, molybdenum, and zirconium) with a gold overlayer were used to form ohmic contacts on {113}-oriented boron-doped diamond epitaxial layers. Morphology and thickness of deposited layers were determined by AFM and X-SEM; resistivity, carrier concentration, and mobility were determined by Hall measurement. Specific contact resistance of evaporated Ti/Au, Zr/Au, and Mo/Au contacts was measured using c-TLM structures after different annealing stages at temperatures up to 850 C. Results show that on layers with {113} orientation it is possible to achieve ohmic contacts of comparable quality as for layers with {100} orientation. In summary, this study confirms the suitability of {113} oriented boron-doped diamond epitaxial layers for the fabrication of diamond power electronic devices with excellent ohmic contacts.
URI
http://hdl.handle.net/10467/98937
Zobrazit/otevřít
PUBLISHED ## CLOSED (4.435Mb)
Kolekce
  • Publikační činnost ČVUT [1503]

České vysoké učení technické v Praze copyright © 2016 

DSpace software copyright © 2002-2016  Duraspace

Kontaktujte nás | Vyjádření názoru
Theme by 
@mire NV
 

 

Užitečné odkazy

ČVUT v PrazeÚstřední knihovna ČVUTO digitální knihovně ČVUTInformační zdrojePodpora studiaPodpora publikování

Procházet

Vše v DSpaceKomunity a kolekceDle data publikováníAutořiNázvyKlíčová slovaTato kolekceDle data publikováníAutořiNázvyKlíčová slova

Můj účet

Přihlásit se

České vysoké učení technické v Praze copyright © 2016 

DSpace software copyright © 2002-2016  Duraspace

Kontaktujte nás | Vyjádření názoru
Theme by 
@mire NV