Show simple item record

Simulation of depth distribution of implanted elements



dc.contributor.advisorVlčák Petr
dc.contributor.authorMartin Vacek
dc.date.accessioned2021-09-02T22:51:48Z
dc.date.available2021-09-02T22:51:48Z
dc.date.issued2021-09-02
dc.identifierKOS-879459296105
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10467/97135
dc.description.abstractTato bakalářská práce pojednává o možnosti simulace hloubkové distribuce pomocí programu SRIM. Konkrétně se zabývá vlivem změny hustoty materiálu terče při implantaci a navrhuje zjednodušující přístup užitím simulace. Teoretická část práce je věnována přehledu o iontové implantaci, systému Ti-N a možných simulačních nástrojích pro predikci hloubkové distribuce. Praktická část práce je zaměřena na teoretické stanovení hustoty terče během procesu iontové implantace a následné využití simulace programu SRIM k predikci koncentračního profilu dusíku. Výsledkem práce jsou vytvořené teoretické koncentrační profily dusíku, které do značné míry korespondují s experimentálně získanými daty.cze
dc.description.abstractThis bachelor thesis discusses the possibility of simulating the depth distribution using SRIM. Specifically, it deals with the effect of the change in density of the target material during implantation and proposes a simplifying approach using simulation. The theoretical part of the thesis is devoted to an overview of ion implantation, the Ti-N system and possible simulation tools for depth distribution prediction. The practical part of the thesis focuses on on the theoretical determination of the target density during the ion implantation process and the subsequent use of the SRIM simulation program to predict the nitrogen concentration profile. The theoretical nitrogen concentration profiles developed as a result of the work are largely consistent with the experimentally obtained data.eng
dc.publisherČeské vysoké učení technické v Praze. Vypočetní a informační centrum.cze
dc.publisherCzech Technical University in Prague. Computing and Information Centre.eng
dc.rightsA university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmleng
dc.rightsVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlcze
dc.subjectiontová implantacecze
dc.subjectkoncentrační profilcze
dc.subjectsystém titan-dusíkcze
dc.subjectprogram SRIMcze
dc.subjection implantationeng
dc.subjectconcentration profileeng
dc.subjectTitanium-Nitrogen systemeng
dc.subjectSRIM programeng
dc.titleSimulace hloubkové distribuce implantované příměsicze
dc.titleSimulation of depth distribution of implanted elementseng
dc.typebakalářská prácecze
dc.typebachelor thesiseng
dc.contributor.refereeKrčil Jan
theses.degree.disciplinebez oborucze
theses.degree.grantorústav fyzikycze
theses.degree.programmeTeoretický základ strojního inženýrstvícze


Files in this item





This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record