Simulace hloubkové distribuce implantované příměsi

Abstract

Tato bakalářská práce pojednává o možnosti simulace hloubkové distribuce pomocí programu SRIM. Konkrétně se zabývá vlivem změny hustoty materiálu terče při implantaci a navrhuje zjednodušující přístup užitím simulace. Teoretická část práce je věnována přehledu o iontové implantaci, systému Ti-N a možných simulačních nástrojích pro predikci hloubkové distribuce. Praktická část práce je zaměřena na teoretické stanovení hustoty terče během procesu iontové implantace a následné využití simulace programu SRIM k predikci koncentračního profilu dusíku. Výsledkem práce jsou vytvořené teoretické koncentrační profily dusíku, které do značné míry korespondují s experimentálně získanými daty.

This bachelor thesis discusses the possibility of simulating the depth distribution using SRIM. Specifically, it deals with the effect of the change in density of the target material during implantation and proposes a simplifying approach using simulation. The theoretical part of the thesis is devoted to an overview of ion implantation, the Ti-N system and possible simulation tools for depth distribution prediction. The practical part of the thesis focuses on on the theoretical determination of the target density during the ion implantation process and the subsequent use of the SRIM simulation program to predict the nitrogen concentration profile. The theoretical nitrogen concentration profiles developed as a result of the work are largely consistent with the experimentally obtained data.