Prohlížení katedra fyziky dle autora "Tomáš Mašek"
-
Studium interakce nízkoteplotního plazmatu s tenkou vrstvou cínu
Autor: Tomáš Mašek; Vedoucí práce: Tichý Milan; Oponent práce: Turek Zdeněk
(České vysoké učení technické v Praze. Vypočetní a informační centrum.Czech Technical University in Prague. Computing and Information Centre., 2023-08-31)Tato práce se věnuje interakci nízkoteplotního plazmatu s tenkou vrstvou cínu. První část se zabývá základním teoretickým popisem generovaného plazmatu, přípravou tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování, technologiemi ...