Modifikace materiálů se zakázaným pásem pomocí ultra-krátkých laserových pulzů

Abstract

Tato práce popisuje experimentální výzkum povrchových modifikací materiálů se zakázaným pásem vyvolaných infračervenými ultra-krátkými laserovými pulzy, které zahrnují efekty při prahu poškození materiálu, ale převážně vytvářením pravidelných laserem-indukovaných periodických povrchových struktur. Byli nalezeny podmínky pro vytváření pravidelných struktur na křemíku a taveném křemeni, které jsou experimentálně demonstrovány. Metodika laserového ozařování a také způsoby vyhodnocení jsou detailně popsány.

This work presents experimental investigations on surface modification of bandgap materials induced by infrared ultra-short laser pulses, which includes effects in material damage threshold, but predominantly fabrication of regular laser-induced periodic surface structures. Processing conditions for fabrication of regular structures on silicon and fused silica are found and such structures are experimentally demonstrated. Methodology of the laser processing as well as evaluation methods are described in detail.