Použití laseru pro výrobu MEMS komponent

Abstract

Hlavním cílem této bakalářské práce je prakticky využít technologii ultrakrátkopulsních laserů pro mikroobrábění vybrané komponenty MEMS. Teoretická část práce je rozdělena do dvou hlavních kapitol. První kapitola teoretické části je věnována definování MEMS, jejich možné kategorizaci na základě elementárních principů, které jsou pro jejich funkci využívány a popisu vybraných výrobních technologií a materiálů používaných pro MEMS. Druhá kapitola teoretické části je věnována především UKP laserům, obecnému popisu laserového zařízení, principu vzniku laserového záření, generaci ultrakrátkých pulsů a interakcím mezi laserovým zářením a materiálem. Experimentální část práce je zaměřena na návrh komponenty MEMS, její výrobu a následnou kontrolu.The main goal of this bachelor thesis is to use ultrashort pulse laser technology for micromachining a chosen component of microelectromechanical system. The theoretical part of this thesis is divided into two main chapters. The first chapter is dedicated to the definition of MEMS, its possible categorization based on elementary principles used for its functions, and the description of chosen technologies and materials used for MEMS manufacturing. The second chapter of the theoretical part is mostly dedicated to the USP lasers, a general description of a laser device, the principal of the formation of a laser radiation, the generation of ultrashort pulses and the interactions between a laser light and a material. The Experimental part of this thesis is focused on designing a MEMS component, its manufacturing and its subsequent analysis.