Spektrální vlastnosti plazmatických zdrojů EUV a XUV záření

Abstract

Tato práce se zabývá spektrální diagnostikou zdrojů měkkého rentgenového záření na bázi dusíkového plazmatu. Důraz je kladen na oblast vlnových délek 2,3?4,4 nm uváděnou v literatuře jako vodního okno. Autor popisuje zkonstruovaný spektrometr s transmisní difrakční mřížkou a uvádí experimentálně získaná spektra záření silnoproudého kapilárního výboje a laserem buzeného plazmatu. Na základě naměřených dat stanovuje výstupní energii záření zdrojů o vlnové délce 2,88 nm. Klíčová slova: vodní okno, EUV, XUV, kapilární výboj, laserem buzené plazma, dusíkové plazma, difrakční mřížkaThe thesis focuses on spectral diagnostics of soft x-rays sources based on nitrogen plasma, especially in wavelength 2,3?4,4 nm which is called water window in literature. The author describes the construction of free standing grating spectrometer and presents obtained spectrums of capillary discharge and laser produced plasma. Estimation of pulse energy for both plasma sources is presented for the wavelength 2,88 nm based on experimental measurement.