Tenké vrstvy organických a anorganických materiálů pro vlnovodové biosenzory připravené laserem

Abstract

Práce popisuje metodiku přípravy tenkých vrstev laserovou ablací. Konkrétněmetodiku depozičních metod PLD (pulsní laserová depozice) a MAPLE (pulsní laserová depozice asistovaná matricí). Zabývá se aplikacemi tenkých vrstev deponovaných uvedenými metodami pro planární optické vlnovody. Uvádí rozdíly mezi aktivními a pasivními optickými vlnovody. Dále podává informaci o vlastnostech materiálů BaTiO3 a SrBaTiO3. V experimentální části práce byla prováděna analýza vlastností vrstev těchto materiálůdeponovaných za různých podmínek. Na základě této analýzy byla posouzena vhodnost zkoumaných vrstev pro vlnovodové aplikace. Vrstvy byly hodnoceny měřením metodou M-line (módová spektroskopie, určení indexu lomu a tloušťky vrstvy), transmisním měřením (index lomu, propustnost) na UV-VIS spektrofotometru, dále metodou XRD (rentgenovská difraktoskopie) a měřením tloušťky vrstvy na mechanickém profilometru ?-step (vydává částečnou informaci o homogenitě povrchu). Veškeré výsledky měření a jejich hodnocení jsou publikovány v této práci.This paper describes methodics of thin film production by laser ablation. Namely PLD (pulsed laser deposition) and MAPLE (matrix assisted pulsed laser evaporation). It is engaged in thin films (deposited by laser ablation) applications for planar optical waveguides. It shows differents between active and passive optical waveguides. It also gives us notice about BaTiO3 and SrBaTiO3 material properties. The aim of experiment was to analyse thin films of these materials. Usability for waveguide applications of investigated films was judged on the basis of this analysis. Films was characterized by M-line measurement (mode spectroscopy, determination of refractive index and film thickness), measurement of transmission by UV-VIS spectrophotometer (refractive index), XRD Metod (x-ray diffraction) and by measuring of film thickness by mechanical profilemeter ?-step (partial information about surface homogeneity). All resultings and their assessments are published in this paper