Prohlížení Archiv DOI dle autora "Horák, M."
-
New method for Si-wafer resistivity determination
Autor: Hájek, J.; Papež, V.; Horák, M.
(České vysoké učení technické v Praze. České centrum IET, 2021)Wafer resistivity is one of the most important parameters in production of Power Semiconductor Devices (PSD). This parameter is mainly responsible for achieving required breakdown voltage and ...