Tenkovrstvé technologie
Technologies for Thin Film Layer
Typ dokumentu
bakalářská prácebachelor thesis
Autor
Petr Vaněk
Vedoucí práce
Beshajová Pelikánová Ivana
Oponent práce
Mikeš Jan
Studijní obor
Elektrotechnika a managementStudijní program
Elektrotechnika, energetika a managementInstituce přidělující hodnost
katedra ekonomiky, manažerství a humanitních vědPráva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Bakalářská práce pojednává o tenkovrstvých technologiích. Nejprve se věnuje teoretickému základu vytváření tenkých vrstev a vlivům, které na tento výroby působí. Další kapitoly popisují jednotlivé technologie výroby, zejména naprašování a napařování, a důležité mechanické a elektrické vlastnosti tenkých vrstev. V praktické části je vyhodnoceno měření na vytvořených vzorcích. Poslední kapitola pojednává o ekonomických nákladech technologií použitých k výrobě. The bachelor's thesis deals with technologies for thin film layers. First of all the thesis focuses on the theoretical basics of creating thin film layer and influences on the process. Next chapters describe particular technologies, especially sputtering and evaporation, and important mechanic and electric characteristics of thin film layers. In the practical part the measurement of the samples made for the thesis is evaluated. The last chapter describes the economic costs of technologies used for making the samples.
Kolekce
- Bakalářské práce - 13116 [519]