Návrh a řízení pohybu manipulátoru vzorků

Abstract

V této práci se zabývám návrhem víceúčelového rotačního manipulátoru. Manipulátor slouží pro polohování vzorků depozičního zařízeni IBAD (Ion Beam Assisted Deposition - depozice s asistencí iontového svazku). Tato práce by měla depozici metodou IBAD zefektivnit z hlediska úspory času. V současnosti je třeba vytvořit vakuum v aparatuře před depozicí každé varianty vzorků. S tímto manipulátorem lze tvořit několik různých sad vzorků na pouhé jedno vyčerpání vzduchu. Manipulátor funguje na principu zastínění již nadeponovaných vzorků před dalším nanášením. Jedná se o speciální záležitost, protože toho zařízení pracuje ve vakuum a při různých teplotách. Za účelem vysvětlení vývoje návrhu manipulátoru se práce zabývá teoretickým úvodem do vakuové techniky, depozičních procesů a dalších odvětví, protože to se tyto faktory zpětně odráží v návrhu řešení. Cílem práce je usnadnit proces depozice tak, aby bylo možné připravit různé varianty vyvíjených vzorků v jednom procesu.

In this work I am focused into design of a multipurpose rotary sample holder. The manipulator is designed to serve in depositing device IBAD (Ion Beam Assisted Deposition). This thesis should make the IBAD method more time-saving. At present, it is necessary to create a vacuum in the device before each depositing of every sample variant. With this manipulator, you can create several different sets of models for just one air exhaustion. The manipulator operates on the principle of hiding already deposited samples. This sample holder works in vacuum and works in many different temperatures. In order to explain the development of manipulator design, the thesis deals with the theoretical introduction of vacuum technology, deposition processes and other industries cause of influencing solutions.