Využití iontových svazků pro růst a charakterizaci nanotyček ZnO
Use of Ion Beams for the Growth and Characterization of ZnO Nanorods
Typ dokumentu
diplomová prácemaster thesis
Autor
Schenk Antonín
Vedoucí práce
Grym Jan
Oponent práce
Haviar Stanislav
Studijní obor
Optika a nanostrukturyStudijní program
Aplikace přírodních vědInstituce přidělující hodnost
katedra fyzikální elektronikyObhájeno
2017-06-14Práva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Tato práce se věnuje přípravě vzorkovaných polí vertikálních ZnO nanotyček pomocí fokusovaných iontových i elektronových svazků a následného hydrotermálního růstu. Dále se věnuje charakterizaci ZnO nanotyček a Pt kontaktů připravených pomocí depozice fokusovanými iontovými/elektronovými svazky (FIBID/FEBID). V teoretické části je uveden úvod do problematiky ZnO nanotyček, iontových svazků a charakterizačních metod skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a mikroskopie atomárních sil (AFM). V experimentální části je uveden postup a diskutovány výsledky přípravy vertikálních uspořádaných polí ZnO nanotyček a jejich srovnání při různých parametrech. Dále je zde obsažena příprava platinových kontaktů, charakterizace jejich elektrických vlastností a možnosti separace a kontaktování samostatné nanotyčky pro elektrické měření. This works looks into the preparation of vertical arrays of ZnO nanorods patterned with focused ion and electron beams, and a subsequent hydrothermal growth. Furthermore, it looks into the characterization of ZnO nanorods and Pt contacts prepared by focused ion/electron beam induced deposition (FIBID/FEBID). Theoretical part provides the informational introduction to ZnO nanorods, ion beams and characterization methods of scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM). Experimental part provides the procedure of the preparation of vertical arrays of ZnO nanorods, their comparison with various parameters, and the results are discussed. Moreover, the preparation of platinum contacts, characterization of their electrical attributes, and methods of separation and contacting of a single ZnO nanorod for electrical measurements are given there.
Kolekce
- Diplomové práce - 14112 [117]