Depozice vazebných vrstev W-316L pomocí technologie RF-ICP pro fúzní aplikace

Abstract

Tato diplomová práce je zaměřena na technologii radiofrekvenčního indukčně vázaného plazmatu s důrazem na využití této technologie pro depozici nástřiků směsí W-316L na ocelové substráty. Hlavním cílem této práce je nanesení těchto směsí, pro které byly nejdříve optimalizovány nástřiky čistého W a oceli 316L. Výsledky těchto optimalizací byly následně aplikovány pro samotné nástřiky směsí. Vyhodnocení jednotlivých vzorků bylo provedeno analýzou mikrostruktury nástřiku na elektronovém mikroskopu. Pro stanovení podílu wolframu v nástřiku byla provedena EDX analýza. Tato práce vznikla ve spolupráci s Oddělením materiálového inženýrství Ústavu fyziky plazmatu Akademie věd České republiky, v. v. i.

This diploma thesis focuses on the radiofrequency inductively-coupled plasma technology with an emphasis on its usage for deposition of W-316L coatings on steel substrates. The main goal of the thesis is a deposition of tungsten-steel composites. First, pure tungsten and steel coatings were optimized. The results of these optimizations were then applied in the deposition of composites. The microstructure of the samples was observed using scanning electron microscope. The EDX analysis was performed to determine the ratio of tungsten in the coatings. This work was carried out in a cooperation with the Department of Materials Engineering, Institute of Plasma Physics of the Czech Academy of Sciences.