ČVUT DSpace
  • Search DSpace
  • Čeština
  • Login
  • Čeština
  • Čeština
Search 
  •   ČVUT DSpace
  • České vysoké učení technické v Praze
  • Fakulta elektrotechnická
  • katedra elektrotechnologie
  • Publikační činnost - 13113
  • Search
  • České vysoké učení technické v Praze
  • Fakulta elektrotechnická
  • katedra elektrotechnologie
  • Publikační činnost - 13113
  • Search
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Search

Show Advanced FiltersHide Advanced Filters

Filters

Use filters to refine the search results.

Now showing items 1-1 of 1

  • Sort Options:
  • Relevance
  • Title Asc
  • Title Desc
  • Author Asc
  • Authort Desc
  • Advisor Asc
  • Advisor Desc
  • Oponnet Asc
  • Opponet Desc
  • Issue Date Asc
  • Issue Date Desc
  • Accepted Date Asc
  • Accepted Date Desc
  • Results Per Page:
  • 5
  • 10
  • 20
  • 40
  • 60
  • 80
  • 100

Fabrication of AI203 and AIN thin films by reactive sputtering and its optimization using DOE 

Mach, Pavel; Kolářová, Jana (IEEE, 2004-05)
Thin films of Al2O3 and AlN have been fabricated by reactive sputtering using magnetron sputtering equipment. A mixture of Ar and O2 has been used for the fabrication of Al2O3 films, and a mixture of Ar and N2 has been ...

České vysoké učení technické v Praze copyright © 2016 

DSpace software copyright © 2002-2016  Duraspace

Contact Us | Send Feedback
Theme by 
@mire NV
 

 

Užitečné odkazy

ČVUT v PrazeÚstřední knihovna ČVUTInformační zdrojeAutorský zákonPodpora studiaJak psát VŠKPPodpora vědyHodnocení vědyOpen Access Aplikace V3S

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

Login

Discover

Author
Kolářová, Jana (1)
Mach, Pavel (1)
SubjectAIN thin films (1)
Al2O3 thin films (1)
magnetron sputrering (1)PVD (1)
reactive sputtering (1)
thin films (1)... View More

České vysoké učení technické v Praze copyright © 2016 

DSpace software copyright © 2002-2016  Duraspace

Contact Us | Send Feedback
Theme by 
@mire NV