Technické řešení stínění detektorů tlouštěk

Abstract

Obsahem této bakalářské práce je vytvoření technického návrhu stínění krystalových detektorů tlouštěk [QCM], které bude sloužit pro zvýšení jejich životnosti. Detektory jsou součástí depoziční aparatury BALZERS, která je součástí vybavení Ústavu fyziky Fakulty strojní ČVUT v Praze. Aparatura slouží k vytváření tenkých vrstev metodou IBAD. V práci jsou popsány tři technická řešení tohoto stínění. V teoretické části se věnuji problematice vytváření tenkých vrstev a problematice vakua. V praktické části jsem pomocí měření zjistil pro konstrukci důležité parametry aparatury, jimiž jsou teplota a tlak během depozice. Ve zbývajících kapitolách se věnuji samotným technickým návrhům stínění. Na závěr jsem zhodnotil výhody a nevýhody jednotlivých návrhů řešení.

The content of this bachelor thesis is to create a technical design of shielding of crystal thickness detectors [QCM], which will serve to increase their lifetime. The detectors are part of the BALZERS deposition apparatus, which is part of the equipment of the Institute of Physics of the Faculty of Mechanical Engineering, CTU in Prague. The apparatus is used to create thin layers by the IBAD method. Three technical solutions of this shield are described inside of this thesis. In the theoretical part I deal with problems about thin film formation and problems in vacuum. In the practical part, I have found important parameters of the apparatus, which are temperature and pressure during the deposition, for the construction. In the remaining chapters I deal with the technical shield design itself. Finally, I reviewed the advantages and disadvantages of each solution proposal.