Příprava a charakterizace uspořádaných polí nanotyčinek ZnO na substrátech upravených elektronovou litografií.
Preparation and characterization of ordered arrays of ZnO nanorods on substrates patterned by electron-beam litography.
Typ dokumentu
diplomová prácemaster thesis
Autor
Fořt Petr
Vedoucí práce
Grym Jan
Oponent práce
Bouda Václav
Studijní obor
ElektroenergetikaStudijní program
Elektrotechnika, energetika a managementInstituce přidělující hodnost
katedra elektroenergetikyObhájeno
2016-09-07Práva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://www.cvut.cz/sites/default/files/content/d1dc93cd-5894-4521-b799-c7e715d3c59e/cs/20160901-metodicky-pokyn-c-12009-o-dodrzovani-etickych-principu-pri-priprave-vysokoskolskych.pdfVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://www.cvut.cz/sites/default/files/content/d1dc93cd-5894-4521-b799-c7e715d3c59e/cs/20160901-metodicky-pokyn-c-12009-o-dodrzovani-etickych-principu-pri-priprave-vysokoskolskych.pdf
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Cílem této práce bylo navrhnout ideální parametry pro tvorbu paternů pro růst uspořádaných polí ZnO nanotyčinek pomocí elektronové litografie, na těchto paternech vypěstovat ZnO struktury a stručně charakterizovat jejich optické a elektrické vlastnosti. Práce shrnuje problematiku přípravy paternů pomocí elektronové litografie na substráty vhodné k růstu ZnO. Nastiňuje měření těchto struktur pomocí mikroskopu atomárních sil. Práce uvádí výsledky růstů ZnO nanotyčinek na paternovaných substrátech na epitaxní vrstvě ZnO a GaN v dávkovém reaktoru a reaktoru s kontinuálním průtokem. V experimentální části jsou uvedeny výsledky dosažené pomocí elektronové litografie, dále výsledky růstu ZnO struktur na mikro a nano paternech a výsledky měření fotoluminescenčních spekter a elektrických vlastností struktur ZnO vypěstovaných na substrátech paternovaných elektronovou litografií. Main goal of this thesis was to design the ideal parameters for creating patterns for the growth of ZnO nanorods arranged in arrays using electron beam lithography, grow of ZnO on these patterns and characterize their optical and electrical properties. This work summarizes the issues of preparation of patterns by using electron beam lithography on a substrate suitable for the growth of ZnO and outlines the measurement of these structures using atomic force microscope. The thesis presents results of the growth of ZnO nanorods on patterned substrates of the epitaxial layer of GaN and ZnO in a batch reactor and a continuous flow microreaktor. In the experimental section it presents the results made by electron beam lithography, the achievements of the growth of ZnO structures at the micro and nano patterns and results of photoluminescence spectra and electrical properties of ZnO structures growed on substrates patterned by electron beam lithography.
Kolekce
- Diplomové práce - 13115 [389]