Měření křivosti povrchu tenkých disků pomocí interferometru

Abstract

Tato práce se zabývá měřením povrchů a zejména poloměrů křivosti zrcadel a tenkých disků pomocí Michelsonova interferometru. V první části byly popsány různé druhy interferometrů, interference dvou svazků, Zernikovy polynomy a metoda, založená na Fourierově transformaci použitá při zpracovávání naměřených interferogramů. Při zpracování byly ořezány píky v obrazu Fourierovy transformace interferogramu a výstupem byla vlnoplocha odražená od testovaného prvku. Výsledné vlnoplochy byly numericky popisovány Zernikovými polynomy. Obdržené hodnoty byly porovnávány s výstupy z komerčního interferometru ZYGO typu Fizeau. Přesnost metody byla ověřena.

This thesis deals with measuring of surfaces and rates of curvature of mirrors and thin disks using a Michelson interferometer. In the first part of this thesis multiple types of interferometers, interference of two beams, Zernike polynomials and method of processing recorded interferograms were described. The measured interferograms were processed using a method based on cropping the Fourier spectrum of the interferogram. The output was a wavefront reflected off of the sample under test. Acquired wavefronts were described numerically using Zernike polynomials. Obtained results were compared to outputs of the ZYGO commercial interferometer. The precision of the method was verified.