Výroba optických struktur pomocí laserové litografie
Fabrication of the Optical Structures Using Laser Lithography
Typ dokumentu
bakalářská prácebachelor thesis
Autor
Jana Zimanová
Vedoucí práce
Prajzler Václav
Oponent práce
Veselý Tomáš
Studijní program
Elektronika a komunikaceInstituce přidělující hodnost
katedra mikroelektronikyPráva
A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.htmlVysokoškolská závěrečná práce je dílo chráněné autorským zákonem. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem http://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou http://knihovny.cvut.cz/vychova/vskp.html
Metadata
Zobrazit celý záznamAbstrakt
Táto bakalárska práca je zameraná na optimalizáciu technologického postupu pre realizáciu jednovidových optických planárnych vlnovodov. V prvej časti sú popísané fundamentálne fyzikálne javy potrebné pre šírenie svetla v planárnom optickom vlnovode. Ďalej sú popísané vlastnosti používaných polymérových materiálov pri výrobe optických vlnovodov. V nasledujúcej časti sú opísané základné princípy technológií použitých pri výrobe optických planárnych vlnovodov: priamy zápis pomocou laserovej litografie (Laser Beam Writing – LBW), proces mokrého leptania a proces hlbokého reaktívneho iónového leptania (Deep Reactive Ion Etching – DRIE). Nasleduje návrh rozmerov jednovidových planárnych vlnovodov z epoxidových živíc EpoCore 2 a EpoCore 10 a z hybridných polymérov OrmoClear®FX alebo OrmoCore v kombinácii s UV fotopolymérom OVD Lumogen BASF (311). Technologický postup je zhrnutý do troch častí. V prvej časti je opísaný postup výroby kremíkovej predlohy kombináciou pozitívneho fotorezistu MICROPOSIT™ S1818™G2 s technológiou LBW a DRIE Bosch proces. Druhá časť spresňuje odlievanie pečiatky z PDMS, ktorá je v tretej časti použitá na výrobu jednotlivých kanálikových vlnovodov z polymérových materiálov. V poslednej časti sú optimalizačné kroky procesu. Rozmery vlnovodnej vrstvy vzoriek vyrobených optimalizovaným technologickým postupom boli takmer v pomere 1:1 pre šírku a hrúbku. Najmenšia dosiahnutá šírka vlnovodnej vrstvy bola 3,1 μm a najmenšia dosiahnutá hrúbka vlnovodnej vrstvy bola 3,2 μm. This bachelor thesis is focused on the optimization of the technological process for the realization of single-mode optical planar waveguides. The first part describes the fundamental physical phenomena required for the propagation of light in a planar optical waveguide. Next are described the properties of polymer materials used in the production of optical waveguides. The following section describes the basic principles of the technologies used in the production of optical planar waveguides: Laser Beam Writing (LBW), wet etching and Deep Reactive Ion Etching (DRIE). A design of the dimensions of single-mode planar waveguides from EpoCore 2 and EpoCore 10 epoxy resins and from OrmoClear®FX or OrmoCore hybrid polymers in combination with UV photopolymer OVD Lumogen BASF (311) follows. The technological process is summarized in three parts. The first part describes the process of production of a silicon master wafer by combining a positive photoresist MICROPOSIT™ S1818™G2 with LBW technology and DRIE Bosch process. The second part specifies the casting of a stamp from PDMS, which is used in the third part for the production of individual channel waveguides from polymeric materials. In the last part are the optimization steps of the process. The dimensions of the waveguide layer of the samples produced by the optimized technological process were almost 1:1 for width and thickness. The smallest achieved waveguide layer width was 3,1 μm and the smallest achieved waveguide layer thickness was 3,2 μm.
Kolekce
- Bakalářské práce - 13134 [262]