Vlastnosti nástřiků wolframu deponovaných technologií RF-ICP

Abstract

Tato diplomová práce popisuje využití technologie radiofrekvenčního indukčně vázaného plazmatu pro deponování nástřiků wolframu na ocelové substráty. Cílem experimentální části práce bylo optimalizovat proces a nanést kvalitní nástřiky W na připravené ocelové substráty pro možnou budoucí fúzní aplikaci. Vyhodnocení vzorků bylo provedeno analýzou na elektronovém mikroskopu ve spolupráci s Ústavem fyziky plazmatu Akademie věd České republiky. Byla hodnocena zejména závislost zvolených depozičních parametrů na vlastnosti deponovaných nástřiků, jako například jejich tloušťku, porozitu, či míru výskytu nenatavených částic. Získané výsledky byly následně diskutovány a porovnány s dostupnou literaturou.This diploma thesis is focused on the usage of inductively-coupled plasma technology for the deposition of W coatings on steel substrates. The experimental part of the work aimed to optimize the process and apply high-quality W coatings on prepared AISI 304 steel substrates for potential fusion applications. The evaluation of the samples was carried out by electron microscope analysis in cooperation with the Institute of Plasma Physics of the Academy of Sciences of the Czech Republic. The influence of the selected process parameters on the properties of the deposited coatings, such as their thickness, porosity or unmelted particles content, was observed. The obtained results were then discussed and compared with the literature.